Dr.-Ing. Marianne Unterreitmeier erhält den Preis für ihre Dissertation „Contact related Failure Detection of Semiconductor Layer Stacks using an Acoustic Emission Test Method" (Detektion von kontaktinduzierten Beschädigungen an Halbleiterschichten unter Anwendung der Schallemissionsprüfung) am Lehrstuhl für Technische Elektronik, Technische Fakultät der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg in Kooperation mit der Fakultät Elektro- und Informationstechnik an der OTH Regensburg. Die Arbeit wurde bei Infineon Technologies in München durchgeführt.
Begründung der Jury: Die Preisträgerin hat in einer hervorragenden wissenschaftlichen und praktischen Arbeit eine völlig neue Methode entwickelt, um Siliziumscheiben (Wafers) auf ihre Funktionsfähigkeit zu testen. Sie nutzt dabei in ihrer bahnbrechenden Arbeit Schallemissionen, die z.B. Risse in Echtzeit und mit höherer Genauigkeit detektieren als optische Inspektionsmethoden. Ihr Testverfahren ist deutlich weniger zeit-und kostenaufwändig, wesentlich genauer und zuverlässiger. Sie verbindet damit in ihrer Dissertation wissenschaftliche Tiefe mit Fokus auf die praktische Anwendung in der Halbleiterindustrie, für die die von ihr gewonnenen Erkenntnisse von grundsätzlicher Bedeutung sind.
Für Frau Dr.-Ing. Unterreitmeier ist das Preisgeld eine Anerkennung für die Mühen einer wissenschaftlichen Arbeit und eine große Motivation ihre wissenschaftliche Karriere weiter zu verfolgen. Daher möchte sie das Preisgeld für Teilnahmen und Beiträge an nationalen oder internationalen Konferenzen verwenden. Insbesondere möchte sie damit ein Sabbatical finanzieren, in dem sie dann auch eine Gastprofessur annehmen könnte.
